盛美半导体设备（上海）股份有限公司

                       （截至授予日）

   一、限制性股票激励计划分配情况表

(资料图)

   本激励计划授予的限制性股票在各激励对象间的分配情况如下表所示：

                                 获授限制性        占本激励计划

                                       占授予限制性

    姓名           国籍      职务      股票数量         公告日股本总

                                       股票总数比例

                                  (万股)          额比例

一、董事、高级管理人员、核心技术人员（10人）

                        董事长、

  HUI WANG       美国               125.0000     9.3914%    0.2883%

                       核心技术人员

                       董事、总经理、

    王坚           中国               93.0000      6.9872%    0.2145%

                       核心技术人员

 HAIPING DUN    中国台湾     董事        2.0000      0.1503%    0.0046%

   罗千里          中国台湾     董事        2.0000      0.1503%    0.0046%

STEPHEN SUN-

                 美国      董事        2.0000      0.1503%    0.0046%

 HAI CHIAO

                        副总经理、

   陈福平           中国               72.0000      5.4095%    0.1661%

                       核心技术人员

 LISA YI LU

                 美国     财务负责人     31.0000      2.3291%    0.0715%

    FENG

   罗明珠           中国     董事会秘书     31.0000      2.3291%    0.0715%

   李学军           中国    核心技术人员     15.0000      1.1270%    0.0346%

    王俊           中国    核心技术人员     15.0000      1.1270%    0.0346%

二、董事会认为需要激励的其他人员（498人）

 核心管理（业务）骨干、中层管理（业务）人

    员、优秀基层技术（业务）员工

首次授予合计（508人）                     1,064.8500   80.0038%    2.4561%

三、预留部分                            266.1500    19.9962%    0.6139%

                 合计              1,331.0000   100.0000%   3.0700%

   二、相关说明

票均未超过公司总股本的1%。公司全部在有效期内的激励计划所涉及的标的股票总

数累计不超过股权激励计划提交股东大会时公司股本总额的20%。

                   盛美半导体设备（上海）股份有限公司

                                     董事会

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